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            CP12 全自動12英寸探針臺

            項目

            CP12探針臺

            機臺尺寸

            1620mm(W) *1230(D)*1450mm(H)

            適用晶圓

            200mm,300mm

            晶圓厚度

            250~2000μm

            Die Size

            350μm ~76,000μm

            晶圓搬運方式

            背面真空吸取,雙Arm

            針測精度

            XY:±1.5μm;Z:±2.5μm

            XY平臺

            重復定位精度±1μm

            Z軸

            重復定位精度±1.5μm,最大速度30mm/s

            針測壓力

            50kg(可選200kg)

            校準方式

            圖像校準,高低倍模板匹配

            Index Time

            240ms(基于Die Size 6mm,Z Clearance 0.5mm)

            測試溫度

            常溫~150℃±1℃

            通訊接口

            GPIB,預留TTL和RS232

            可選功能

            ID讀取,自動換卡

             

            ※主要針對CIS和SOC產品推出的高性價比探針臺

            版權所有:杭州長川科技股份有限公司 地址:杭州市濱江區聚才路410號

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